Penderia Tekanan Perbezaan Resonan Silikon

Penderia tekanan pembezaan resonan silikon ialah sejenis penderia resonan yang dihasilkan menggunakan teknologi pemesinan mikro silikon, yang direka khusus untuk mengukur perbezaan tekanan antara dua salur masuk tekanan. Prinsip terasnya ialah menentukan nilai tekanan pembezaan dengan mengukur perubahan dalam frekuensi semula jadi bagi satu-alur resonan silikon kristal.

 

Ia menggabungkan dengan sempurna kelebihan tiga teknologi canggih:

1. Pengukuran Tekanan Berbeza:Sesuai untuk aplikasi kritikal seperti aliran dan pengukuran aras.

2. Prinsip Resonans:Memberikan ketepatan yang tiada tandingan dan kestabilan-jangka panjang.

3. Teknologi Silicon MEMS:Mendayakan pengecilan, pengeluaran kelompok dan kebolehpercayaan yang tinggi.

Terasnya ialah struktur mikro kompleks yang direka pada wafer silikon menggunakan teknologi MEMS.

Struktur Teras:

• Struktur terikat-Silikon-Kaca tiga-kaca.
• Lapisan Kaca Atas: Mengandungi lubang salur masuk tekanan yang disambungkan ke bahagian-tekanan tinggi.
• Lapisan Kaca Bawah: Mengandungi lubang salur masuk tekanan yang disambungkan ke bahagian-tekanan rendah.
• Lapisan Silikon Tengah: Micromachined dan mengandungi:

Diafragma Penderiaan: Diafragma silikon yang nipis namun teguh yang merasakan perbezaan tekanan dari kedua-dua belah.

Rasuk Resonan: Terletak di atas (atau disepadukan dalam) diafragma penderiaan, ini adalah struktur rasuk silikon terampai. Biasanya, terdapat dua rasuk resonans yang sama di dalam satu sensor, masing-masing terletak di tengah dan tepi diafragma.

Memacu Elektrod dan Elektrod Angkat-: Digunakan untuk merangsang pancaran resonans kepada getaran dan mengesan kekerapan getarannya.

Proses Operasi:

• Guna Tekanan Berbeza: Tekanan tinggi (P1) dan tekanan rendah (P2) bertindak pada kedua-dua belah diafragma penderiaan.
• Ubah Bentuk Diafragma: Perbezaan tekanan menyebabkan diafragma penderia mengalami ubah bentuk lenturan minit.
• Penjanaan Tekanan: Ubah bentuk ini mewujudkan taburan tegasan pada diafragma:

Rasuk resonan di tengah diafragma mengalami tegasan mampatan.

Rasuk resonan di tepi diafragma mengalami tekanan tegangan.

Perubahan Kekerapan:

Mengikut prinsip resonan, tegasan mampatan menyebabkan kekerapan resonansnya berkurangan.

Tegasan tegangan menyebabkan kekerapan resonansnya meningkat.

Pengukuran Pembezaan: Penderia mengukur perbezaan frekuensi antara dua pancaran resonans (Δf=f₁ - f₂).

Output ialah perbezaan antara dua frekuensi resonans, yang menawarkan faedah yang ketara:

Penolakan Ralat Mod Biasa-:

• Kesan Suhu:Jika suhu meningkat, frekuensi kedua-dua rasuk resonans berubah dalam arah yang sama (cth, kedua-duanya menurun), tetapi perbezaan frekuensinya kekal tidak berubah.
• Kesan Tekanan Statik:Tekanan statik yang serupa dikenakan pada kedua-dua belah memberi kesan yang sama kepada kedua-dua rasuk, dan perbezaan frekuensinya juga kekal stabil.
• Ketepatan dan Resolusi Amat Tinggi:Kekerapan boleh diukur dengan ketepatan yang melampau, menghasilkan resolusi sensor yang sangat tinggi dan kebolehulangan, dengan ketepatan mencapai ±0.075% atau lebih tinggi.
• Secara Inheren Digital:Outputnya ialah isyarat frekuensi, yang menawarkan keupayaan anti-gangguan yang kuat dan mudah untuk diproses oleh sistem digital.

Cool tags: penderia tekanan pembezaan resonan silikon, pembekal penderia tekanan pembezaan resonan silikon China, semua sensor tekanan, Penderia arus DC, penderia tekanan gas, penderia pemancar tekanan, Pemancar PT, Separa penderia